無(wú)塵車(chē)間的簡(jiǎn)述與主要功用 |
發(fā)布者: 發(fā)布時(shí)間:2023/5/17 8:46:22 點(diǎn)擊:619 |
無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)在于,不論外界的空氣條件怎么改變,均可以使室內(nèi)的空氣保持在必定的潔凈度、濕度及壓力,那么無(wú)塵車(chē)間有哪些用處呢?
無(wú)塵車(chē)間較首要之作用在于操控產(chǎn)品(如硅芯片等)所觸摸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)杰出之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制作,此空間咱們稱(chēng)之為無(wú)塵車(chē)間。依照世界慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)首要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分規(guī)范的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也便是說(shuō)所謂無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)塵埃,而是操控在一個(gè)十分微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)規(guī)范中符合塵埃規(guī)范的顆粒相關(guān)于咱們常見(jiàn)的塵埃已經(jīng)是小的微乎其微,但是關(guān)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的塵埃都會(huì)產(chǎn)生十分大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的出產(chǎn)上,無(wú)塵是必定的要求。
每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量操控在3500個(gè)以下,達(dá)到了世界無(wú)塵規(guī)范的A級(jí)。應(yīng)用在芯片級(jí)出產(chǎn)加工的無(wú)塵規(guī)范關(guān)于塵埃的要求高于A(yíng)級(jí),這樣的高標(biāo)首要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片出產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)厲操控在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi),這也便是業(yè)界俗稱(chēng)的1K等級(jí)。
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